半導體製程
Semiconductor Processings
學期
107-1
學分
3
學分
當期課號
5313
永久課號
IMA5559
開課單位
材料科學與工程學系
授課教師
程海東、張翼
校區
光復
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週二 |
|---|---|
5 13:20–14:10 | 半導體製程 EF202 3 節連堂 |
6 14:20–15:10 | |
7 15:30–16:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
包括半導體製程的演進、材料的特性的講解,以及半導體元件之製程流程及各項製程之解說。
先修科目
無
評分方式
上課時,以投影片及補充講義為主,影片為輔助方式於課堂上講授。評分方式包括作業、期中考與期末考成績。
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | A practical guide to semiconductor processing |
| 第 2 週 | Semiconductor materials and process chemicals |
| 第 3 週 | Semiconductor properties |
| 第 4 週 | Crystal growth |
| 第 5 週 | Manufacturing wafers |
| 第 6 週 | Overview of wafer fabrication |
| 第 7 週 | Contamination control |
| 第 8 週 | Process yields |
| 第 9 週 | Oxidation |
| 第 10 週 | Basic patterning process-surface preparation to exposure |
| 第 11 週 | Basic patterning-developing to final inspection |
| 第 12 週 | Advanced Photolithography processes |
| 第 13 週 | Diffusion |
| 第 14 週 | Ion Implantaion |
| 第 15 週 | CVD |
| 第 16 週 | Metallization |
| 第 17 週 | Dry etching |
教科書
參考書目:Microchip Fabrication, PETER VAN ZANT, McGRAW-HILL INTERNATIONAL EDITION