半導體製程技術
Semiconductor Process and Technology
學期
107-1
學分
3
學分
當期課號
5365
永久課號
IEP5801
開課單位
電子物理學系
授課教師
趙天生
校區
光復
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週一 |
|---|---|
2 09:00–09:50 | 半導體製程技術 SC160 3 節連堂 |
3 10:10–11:00 | |
4 11:10–12:00 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
學習半導體CMOS製程
先修科目
基本物理與化學
教學方式
powerpoint
評分方式
期中考40% 期末考60%
課程大綱
- Chap.1 Introduction to the Semiconductor Industry Chap.2 characteristics of Semiconductor Materials Chap.3 Device Technology Chap.4 Silicon and Wafer Preparation Chap.5 Chemical on Semiconductor Fabrication Chap.6 contamination Control in Wafer Fabs Chap.7 Metrology and Defect Inspection Chap.8 Gas Control on Process Chambers Chap.9 IC Fabrication Process Overview Chap.10 Oxidation Chap.11 Deposition Chap.12 Metallization Chap.13 Photolithography: Vapor prime to soft bake Chap.14 Photolithography: Alignment and exposure Chap.15 Photolithography: Photoresist development and advanced lithography Chap.16 Etch Chap.17 Ion Implant Chap.18 Chemical Mechanical Planarization
教科書
Semiconductor Manufacturing Technology, by M. Quirk and J. Serda, Prentice Hall, 2001
Office Hours
- 地點
- SC-306
- 時間
- 2CD, 5G
- 聯絡方式
- 03-5131367