積體電路技術(二)
Integrated Circuit Technology (II)
學期
107-2
學分
3
學分
當期課號
5015
永久課號
IEE5564
開課單位
電子研究所
授課教師
崔秉鉞
校區
光復
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週一 | 週四 |
|---|---|---|
2 09:00–09:50 | 積體電路技術(二) ED116 | |
5 13:20–14:10 | 積體電路技術(二) ED116 2 節連堂 | |
6 14:20–15:10 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
銜接積體電路技術(一),完整講述積體電路之所有單元製程,接著介紹重要之製程模組,包括isolation, salicide, planarization, Cu-interconnect等。以完整的CMOS process flow串連各製程單元及模組,並介紹設計規範的概念。 積體電路技術(一)、(二)將可使學生對半世紀來的積體電路技術有完整且深入的了解,並知道如何整合應用,製作出符合規範的產品。
先修科目
積體電路技術(一)或其它半導體單元製程相關課程一學期。
評分方式
期中考40% 期末考40% 報告佔20%
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | Thin Film Deposition |
| 第 2 週 | Thin Film Deposition |
| 第 3 週 | Thin Film Deposition |
| 第 4 週 | Electrochemical Plating |
| 第 5 週 | Electrochemical Plating Dopant Diffusion and Ion Implantation |
| 第 6 週 | Dopant Diffusion and Ion Implantation |
| 第 7 週 | Chemical Mechanical Polish |
| 第 8 週 | Chemical Mechanical Polish |
| 第 9 週 | Mid-term examination Isolation Technology |
| 第 10 週 | Isolation Technology |
| 第 11 週 | Silicide Technology |
| 第 12 週 | CMOS Process Flow |
| 第 13 週 | CMOS Process Flow Multi-level Interconnect Technology |
| 第 14 週 | Multi-level Interconnect Technology |
| 第 15 週 | Design Rules |
| 第 16 週 | Designe Rules |
| 第 17 週 | Designe Rules |
| 第 18 週 | Final Examination |
教科書
教科書:自編講義。 參考書: J. D. Plummer, M. D. Deal, and P. B. Griffin, “Silicon VLSI Technology-Fundamentals, Practice, and Modeling”, 2000, Prentice Hall. C. Y. Chang and S. M. Sze, “ULSI Technology”, McGraw Hill, 1996.
Office Hours
- 地點
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- 時間
- 另行約定
- 聯絡方式
- bytsui@mail.nctu.edu.tw 03-5131570