半導體實驗
Semiconductor Laboratory
| 節 | 週三 |
|---|---|
5 13:20–14:10 | 半導體實驗 LAB 2 節連堂 |
6 14:20–15:10 | |
A 18:30–19:20 | 半導體實驗 LAB 3 節連堂 |
B 19:30–20:20 | |
C 20:30–21:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
電子研究所希望培育學生具備十項核心能力及三項基本素養(請參官網http://www.ee.nctu.edu.tw首頁之【學術研究】→【IEET】內容。 ※本課程將培育學生具備下述幾項核心能力: 1.1 固態電子或電路系統相關專業知識之能力 1.2 固態電子或電路系統之設計、實驗及分析數據之能力,並具有發掘、分析、獨立解決問題及創新思考的能力 1.3 使用電腦輔助軟體、儀器等工具的能力 ※本課程將培育學生具備下述幾項基本素養: 1 養成學生具備電子工程基礎與專業知識,並配合實作,達到理論與實務相結合之目的。使學生具備推論、分析、創新及整合能力。
有半導體元件物理基礎者為佳
課程助教: 游珽崵 實驗助教主要負責人: 鍾政庭
考試30% 實作表現25% 期末報告40% 上課參與5%
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | History of Nano Facility Center (NFC) and Semiconductor Lab. |
| 第 2 週 | Clean room environment |
| 第 3 週 | Safety issues |
| 第 4 週 | Clean process |
| 第 5 週 | Oxidation process |
| 第 6 週 | Lithography process |
| 第 7 週 | Etch process |
| 第 8 週 | Doping process |
| 第 9 週 | Deposition process |
| 第 10 週 | MOS capacitor and P-N junction measurement |
| 第 11 週 | 考試 |
| 第 12 週 | 實作 |
| 第 13 週 | 實作 |
| 第 14 週 | 實作 |
| 第 15 週 | 實作 |
| 第 16 週 | 實作 |
| 第 17 週 | 期末報告 |
Reference Books: 1. Hong Xiao, “Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology”, 2000, Prentice Hall. 2. J. D. Plummer, M. D. Deal, and P. B. Griffin, “Silicon VLSI Technology-Fundamentals, Practice and Modeling”, 2000, Prentice Hall. 3. S. M. Sze, “Semiconductor Devices Physics and Technology”, 2nd Ed., 2002, J. Wiley & Sons Inc. 4. Robert F. Pierret, “Semiconductor Device Fundamentals”, 1996, Addison Wesley.
- 地點
- ED 506
- 時間
- By appointment
- 聯絡方式
- Email: knchen@mail.nctu.edu.tw