微奈米製造技術
Micro-nano fabrication technology
學期
107-2
學分
2
學分
當期課號
A835
永久課號
A8876
開課單位
生醫光電暨奈米科學學士學位學程(與生命科學院合辦)
授課教師
董奕鍾
校區
陽明
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週二 |
|---|---|
3 10:10–11:00 | 微奈米製造技術 YK645 2 節連堂 |
4 11:10–12:00 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | Now and Then of Micro-Nano Fabrication |
| 第 2 週 | Materials and Oxidation Process |
| 第 3 週 | Pattern Transfer - Optical Lithography (I) |
| 第 4 週 | Pattern Transfer - Optical Lithography (II) |
| 第 5 週 | Physical and Chemical Deposition (I) |
| 第 6 週 | Physical and Chemical Deposition (II) |
| 第 7 週 | Wet and Dry Etching (I) |
| 第 8 週 | Wet and Dry Etching (II) |
| 第 9 週 | Review of Part I |
| 第 10 週 | Midterm Exam |
| 第 11 週 | Introduction of Microfluidics (I) |
| 第 12 週 | Introduction of Microfluidics (II) |
| 第 13 週 | Soft Lithography and Applications |
| 第 14 週 | Process Integration |
| 第 15 週 | Fabrication of Biomedical Devices and Their Applications (I) |
| 第 16 週 | Fabrication of Biomedical Devices and Their Applications (II) |
| 第 17 週 | Review of Part II |
| 第 18 週 | Final Exam |