半導體製程
Semiconductor Processings
學期
108-1
學分
3
學分
當期課號
5326
永久課號
IMA5559
開課單位
材料科學與工程學系
授課教師
張翼
校區
光復
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週二 |
|---|---|
5 13:20–14:10 | 半導體製程 EF202 3 節連堂 |
6 14:20–15:10 | |
7 15:30–16:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
包括半導體製程的演進、材料的特性的講解,以及半導體元件之製程流程及各項製程之解說。
先修科目
無
評分方式
上課時,以投影片及補充講義為主,影片為輔助方式於課堂上講授。評分方式包括作業、期中考與期末考成績。
教科書
參考書目:Microchip Fabrication, PETER VAN ZANT, McGRAW-HILL INTERNATIONAL EDITION