微奈米製造技術
Micro-nano fabrication technology
學期
108-2
學分
2
學分
當期課號
A746
永久課號
A8876
開課單位
生醫光電暨奈米科學學士學位學程(與生命科學院合辦)
授課教師
董奕鍾
校區
陽明
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週二 |
|---|---|
3 10:10–11:00 | 微奈米製造技術 YKB121 2 節連堂 |
4 11:10–12:00 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | 微奈米製程簡介 – 微奈米製程之過去與未來Now and Then of Micro-Nano Fabrication |
| 第 2 週 | 微奈米製造材料介紹與氧化製程Materials and Oxidation Process |
| 第 3 週 | 光學微影技術 (一)Pattern Transfer - Optical Lithography (1) |
| 第 4 週 | 光學微影技術 (二)Pattern Transfer - Optical Lithography (2) |
| 第 5 週 | 沈積技術 – 化學方式Chemical Deposition |
| 第 6 週 | 沈積技術 – 物理方式Physical Deposition |
| 第 7 週 | 蝕刻技術 (一)Etching (1) |
| 第 8 週 | 蝕刻技術 (二)Etching (2) |
| 第 9 週 | 期中考Midterm Exam |
| 第 10 週 | 討論與複習Review and Discussion |
| 第 11 週 | 軟式微影技術及其應用 (一)Soft Lithography and Applications (1) |
| 第 12 週 | 軟式微影技術及其應用 (二)Soft Lithography and Applications (2) |
| 第 13 週 | 製程檢測技術介紹Metrology |
| 第 14 週 | 製程整合與元件應用Process Integration |
| 第 15 週 | 生醫元件製造與應用 (一)Fabrication of Biomedical Devices and Their Applications (1) |
| 第 16 週 | 生醫元件製造與應用 (二)Fabrication of Biomedical Devices and Their Applications (2) |
| 第 17 週 | 期末考Final Exam |
| 第 18 週 | 總檢討Final Discussion |