元件電路計測實驗

Device and Circuit Characterization Laborotory

學期

109-2

學分

3 學分

當期課號

5017

永久課號

IEE5385

開課單位

電子研究所

授課教師

崔秉鉞

類別

選修

上課時間表

* 根據陽明交大上課時間表所列

概述

1. 熟悉各種精密阻抗、電壓、電容、電流測量儀器之原理與使用。 2. 熟悉基本半導體元件特性以及物理參數之測量原理與擷取方法。

先修科目

已修畢半導體元件物理或同類課程一學期。

教學方式

1. 每週兩小時教室課,解說參數擷取原理以及測試結構。 2. 每週兩小時實作教學,由助教示範儀器操作,之後個別找時間練習。 3. 限額40人,優先順序為:電研所學生、電工系學生、電研所甄試錄取生、電機學院學生、本校研究生、本校研究所甄試錄取生、外校學生。

評分方式

三次筆試,每次10%,共30% 三次儀器操作測驗,每次10%,共40% 單元實驗報告,一組一份,共30%

週次計畫

週次	主題
第 1 週	Introduction to Low level measurement Probe station setup
第 2 週	Sheet resistance & Contact Resistance Agilent 4156
第 3 週	GPIB operation & Program control Lab view
第 4 週	Schottky junction & pn junction Agilent 4156
第 5 週	Independent practice
第 6 週	1st written examination 1st operation examination (Agilent 4156, Program control)
第 7 週	MOS capacitor characterization Agilent 4284
第 8 週	MOSFET characterization & Mobility extraction Agilent 4156 & Tek 370 & Agilent 4284
第 9 週	External resistance extraction Agilent 4156
第 10 週	Independent practice
第 11 週	2nd written examination 2nd operation examination (Agilent 4284, Agilent 4156 QSCV, Tek 370)
第 12 週	Interface state extraction – CV method Agilent 4284 & Agilent 4156
第 13 週	Interface state extraction – Conductance method Agilent 4284
第 14 週	Interface state extraction - Charge pumping method Agilent 81110 & Tek DPO-4054B & Agilent 4156
第 15 週	Independent practice
第 16 週	3rd written examination 3rd operation examination (Agilent 81110, Tek DPO-4054B, Agilent 4156 QSCV)
第 17 週
第 18 週

教科書

1. 上課講義 2. Semiconductor Material and Device Characterization, 3rd Ed., D. K. Schroder.

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