半導體製程設備與技術
Semiconductor Process Equipmentand Technology
學期
109-2
學分
3
學分
當期課號
5339
永久課號
IME5343
開課單位
機械工程學系
授課教師
楊秉祥
校區
光復
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週二 |
|---|---|
5 13:20–14:10 | 半導體製程設備與技術 EE106 3 節連堂 |
6 14:20–15:10 | |
7 15:30–16:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
介紹並使學生了解半導體儀器與設備相關技術以及發展趨勢,並鏈結各工程領域與半導體產業之知識及人才。
先修科目
無
教學方式
New E3 上課為保障智慧財產權,不得照相、錄音或錄影。
評分方式
課堂與平時表現20% 隨堂測驗40% 報告20% 期末考試20%
課程大綱
- 半導體產業趨勢與製造流程
- 先進自動化工廠運作 AI 自動化在半導體設備的應用
- 乾式蝕刻製程設備與技術 濕式蝕刻製程設備與技術 爐管及離子佈值製程設備與技術 先進量測設備與技術 光阻塗佈/曝光/顯影製程設備與技術 化學氣相沉積製程設備與技術 物理氣相沉積製程設備與技術 平坦化製程設備與技術
- 半導體場域參訪
- 心得報告與檢討
- 半導體產業趨勢與製造流程
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | 半導體產業趨勢 |
教科書
課程講義
Office Hours
- 地點
- 教室或EE437
- 時間
- By Appointment
- 聯絡方式