半導體製程設備與技術

Semiconductor Process Equipmentand Technology

學期

110-2

學分

3 學分

當期課號

5331

永久課號

IME5343

開課單位

機械工程學系

授課教師

楊秉祥

校區

光復

類別

選修

上課時間表

* 根據陽明交大上課時間表所列

概述

介紹並使學生了解半導體儀器與設備相關技術以及發展趨勢,並鏈結各工程領域與半導體產業之知識及人才。 (注意事項:課程第一次上課將說明課程要求與進行加退選,無論是否已線上選課,有興趣修課同學務必準時到課-實體教室上課,以免影響修課權益)

先修科目

無

教學方式

New E3 上課為保障智慧財產權,不得照相、錄音或錄影。

評分方式

課堂與平時表現20% 隨堂測驗40% 報告20% 期末考試20%

課程大綱

半導體產業趨勢與製造流程
先進自動化工廠運作 AI 自動化在半導體設備的應用
乾式蝕刻製程設備與技術濕式蝕刻製程設備與技術爐管及離子佈值製程設備與技術先進量測設備與技術光阻塗佈/曝光/顯影製程設備與技術化學氣相沉積製程設備與技術物理氣相沉積製程設備與技術平坦化製程設備與技術
半導體場域參訪
心得報告與檢討
半導體產業趨勢與製造流程

週次計畫

週次	主題
第 1 週	半導體產業趨勢

教科書

課程講義

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