微奈米製造技術
Micro-nano fabrication technology
學期
110-2
學分
2
學分
當期課號
C666
永久課號
A8876
開課單位
生醫光電研究所
授課教師
董奕鍾
校區
陽明
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週二 |
|---|---|
3 10:10–11:00 | 微奈米製造技術 YK533 2 節連堂 |
4 11:10–12:00 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | 微奈米製程簡介 – 微奈米製程之過去與未來 |
| 第 2 週 | 微奈米製造材料介紹與氧化製程 |
| 第 3 週 | 光學微影技術 (一) |
| 第 4 週 | 光學微影技術 (二) |
| 第 5 週 | 沈積技術 – 化學方式 |
| 第 6 週 | 沈積技術 – 物理方式 |
| 第 7 週 | 蝕刻技術 |
| 第 8 週 | 討論與複習 |
| 第 9 週 | 期中考 |
| 第 10 週 | 軟式微影技術及其應用 (一) |
| 第 11 週 | 軟式微影技術及其應用 (二) |
| 第 12 週 | 製程檢測技術介紹 |
| 第 13 週 | 製程整合與元件應用 |
| 第 14 週 | 生醫元件製造與應用 (一) |
| 第 15 週 | 生醫元件製造與應用 (二) |
| 第 16 週 | 期末考 |
| 第 17 週 | 討論與複習 |
| 第 18 週 | 討論與複習 |