學位論文研究

使學生了解微奈米技術的一般觀念、知識與應用,作為未來奈米研究的一個基礎。本課程將分為三大部分:微奈米製程與量測、微奈米力學、微奈米應用(生醫、熱傳、感測)。從半導體技術所衍生出之微機電技術及後續其它微奈米製造技術及微奈米結構量測開始討論,介紹目前常用的微奈米製程方法已及當前的研究方向。接著討論在微奈米尺度下對材料、力學及機械性質的影響。最後將討論微奈米科技在未來能源亦用、生醫、感測等的應用。

1. Midtermx3 75% 2. Final project 25%

• 1. 微奈米製程(半導體製程、微機電製程、雷射微奈米製造及自我組裝技術等)
• 2. 微奈米量測
• 3. 微奈米材料、力學及機械性質
• 4. 微奈米熱傳
• 5. 微奈米傳感器
• 6. 微奈米生物感測器

1. Class notes and research paper.