微機電元件技術

本課程目標為提供研究生對於明瞭微機電領域發展的學習平台,主要著重於微機電技術與微型感測與致動器的運作原理、設計、與模擬實驗,並特別強調感測與致動器之元件物理,並以軟性感測技術為單元主題,使學生了解微機電系統中,關於軟性感測器相關應用與技術發展。課程內容主要除著重於微機電元件技術之介紹外,亦將包含軟性感測器的製作、設計原理與實驗,並特別強調各種軟性感測器之設計考量與相關應用,除了課程講解外,模擬實驗亦佔有重要的地位,以期使修課學生具有實際的軟性感測器製作與量測操作經驗。 電子研究所希望培育學生具備十項核心能力及三項基本素養(請參官網http://www.ee.nctu.edu.tw首頁之【學術研究】→【IEET】內容。 ※本課程將培育學生具備下述幾項核心能力: 1.1 固態電子或電路系統相關專業知識之能力 1.2 固態電子或電路系統之設計、實驗及分析數據之能力,並具有發掘、分析、獨立解決問題及創新思考的能力 1.4 具跨領域整合之能力 3.1 瞭解國內外電子資訊產業脈動 3.2 中英文科技論文之閱讀寫作與簡報能力 ※本課程將培育學生具備下述幾項基本素養: 1 養成學生具備電子工程基礎與專業知識,並配合實作,達到理論與實務相結合之目的。使學生具備推論、分析、創新及整合能力。 3 建立國際化學習環境,使學生洞察國內外社會與產業之脈動,以培養學生成為立足於全球之電子菁英與領袖人才。

Fundamental Physics.

http://mil.ee.nctu.edu.tw

作業部份: Paper study 考試部份: One Final report 評量部份: 1 x Midterm: 40%, Paper study+ presentation 30%, Final project:+report: 30%

Handouts: Handouts and other supplementary materials; major sources from Prof. K. Najafi at UM. References: Microsensors, MEM, and Smart Devices, J. W. Gardner, V. K. Varadan, and O. O. Awadelkarim, Wiley, 2001. Microsystem Design by Stephen D. Senturia, Kluwer Academic Publisher, 2001. Micromachined Tranducers Sourcebook by Gregory T. A. Kovacs, McGraw Hill 1998. Semiconductor Sensors by S. M. Sze, John Wiley, 1994. Fundamental of Microfabrication, by M. Madou, CRC Press, Inc. Silicon Micromachining, by M. Elwensoek, and H. Jansen, Kluwer Academic Publishers, 2001 CMOS-MEMS, by Baltes, Brand, Fedder, Hierold, Korvink, Tabata.

地點

ED640

時間

Mon. 1:30~3:30pm

聯絡方式

e-mail or Tel: 54169.