微機電系統技術導論
Introduction to Micro Electro Mechanical Systems
學期
112-1
學分
3
學分
當期課號
535308
永久課號
EECN30077
開課單位
電控工程研究所
授課教師
邱俊誠
校區
光復
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週三 |
|---|---|
2 09:00–09:50 | 微機電系統技術導論 EE209 3 節連堂 |
3 10:10–11:00 | |
4 11:10–12:00 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
微機電系統(Micro-Electro- Mechanical-System, MEMS)是一涵蓋了機械、電機、化工、材料、醫學、生物、光電、電子、通訊...等等領域之專業知識,以及建立在微感測器、微致動器、微電子、微工具以及微加工等技術的整合系統。本課程介紹微機電系統發展的理念、半導體/微機電製程及相關應用。
先修科目
一般大學必修工程科目
教學方式
TA、Youtube...
評分方式
Homework assignments: 30% Mid-term Exam, 25% Final Exam. 35% Presence: 10%
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | Introduction and Overview |
| 第 2 週 | Frequently Used MEMS Materials |
| 第 3 週 | Fundamentals of Micro-fabrication (Film Deposition, Lithography and Etching) |
| 第 4 週 | Fundamentals of Micro-fabrication (Film Deposition, Lithography and Etching) |
| 第 5 週 | MEMS micromachining: Surface/Bulk Micro Machining and LIGA |
| 第 6 週 | MEMS micromachining: Surface/Bulk Micro Machining and LIGA |
| 第 7 週 | Mid-term Exam. |
| 第 8 週 | MEMS Software: L-edit (Layout) |
| 第 9 週 | MEMS Software: Coventorware (Analysis) |
| 第 10 週 | MEMS Device Fabrication Processes (MUMPs / CMOS-MEMS) |
| 第 11 週 | MEMS Device Fabrication Processes (MUMPs / CMOS-MEMS) |
| 第 12 週 | MEMS Device Fabrication Processes (MUMPs / CMOS-MEMS) |
| 第 13 週 | Transducers (Actuators, Sensors and Systems) |
| 第 14 週 | Transducers (Actuators, Sensors and Systems) |
| 第 15 週 | Transducers (Actuators, Sensors and Systems) |
| 第 16 週 | Final Exam. |
教科書
Foundations of MEMS, Chang Liu, Pearson Edu. 2007
Office Hours
- 地點
- EE-772
- 時間
- 週三下午1:30~3:30
- 聯絡方式
- 03-573-1881