積體電路技術（一）
IC technology (1)
學期
112-1
學分
3
學分
當期課號
539002
永久課號
IIPS30010
開課單位
前瞻半導體研究所
授課教師
李耀仁
校區
光復
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週四 |
|---|---|
5 13:20–14:10 | 積體電路技術（一） A310 3 節連堂 |
6 14:20–15:10 | |
7 15:30–16:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
積體電路技術(一)將著重在理解基礎半導體工程為主,從模組出發,最後到元件整合。
先修科目
無
評分方式
期中考40%、學期作業與報告25%、期末考35%
課程大綱
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | 課程簡介 |
| 第 2 週 | 元件物理(I) |
| 第 3 週 | 晶圓製造與清洗 |
| 第 4 週 | 氧化擴散(I) |
| 第 5 週 | 氧化擴散(II) |
| 第 6 週 | 電漿原理 |
| 第 7 週 | 台積電見習 (廠務設施) |
| 第 8 週 | 物理氣相沉積 |
| 第 9 週 | 離子佈植與退火製程 |
| 第 10 週 | 化學氣相沉積(I) |
| 第 11 週 | 化學氣相沉積(II) |
| 第 12 週 | 微影(I) |
| 第 13 週 | 期中考 |
| 第 14 週 | 台積電見習 |
| 第 15 週 | 微影(I) |
| 第 16 週 | 微影(II) |
教科書
(1) Hong Xiao, “Introduction to semiconductor manufacturing technology (second edition),” SPIE Press. (2) 教師自編講義
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