半導體工程

Semiconductor Engineering

學期

112-2

學分

3 學分

當期課號

515153

永久課號

EEEC20108

開課單位

電機工程學系

授課教師

洪瑞華

校區

光復

類別

選修

上課時間表

* 根據陽明交大上課時間表所列

概述

本課程介紹半導體相關製程與先進設備元件,安排台積電新人訓練中心之課程, 提供了兩天下午課程,供同學見習,和台積新進工程師同步掌握最先進的半導體設備元件實務。

先修科目

無

教學方式

lectures

評分方式

Midterm exam 45% Final Exam 45% Attendance rate 10%

週次計畫

週次	主題
第 1 週	Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology
第 2 週	對半導體先進設備元件有興趣的同學們看過來 ! 台積電新人訓練中心 ( 提供了兩天下午課程, 供同學見習,歡迎踴躍報名參加,和台積新進工程師同步掌握最先進的半導體設備元件實務 (1)Plasma基礎原理與應用  (a)Plasma形成與電子碰撞介紹 (b)半導體製程應用 (2)Plasma 設計種類與特性 (a)CCP/ICP/DC/Downstream (b)介紹RF delivery system 基礎介紹 (3)RF傳輸與阻抗匹配 (a)實體操作 Plasma 變化觀察與真空電容檢測
第 3 週	(1) Vacuum應用與基礎原理 (a)半導體製程真空應用 (b)Vacuum產生與系統介紹 (2)Pump 工作原理介紹  Dry Pump/Turbo/Cryo 原理 (a)Gauge 種類原理介紹 (b)Pirani/Convectron/Baratron/CCIG/HCIG 介紹 (3)實體操作 Vacuum 建立與測漏
第 4 週	Introduction to IC Fabrication(1)
第 5 週	Introduction to IC Fabrication(2)
第 6 週	Wafer Manufacturing and Epitaxy Growing(1)
第 7 週	Wafer Manufacturing and Epitaxy Growing(2)
第 8 週	Wafer Manufacturing and Epitaxy Growing(3)
第 9 週	期中考
第 10 週	Photolithography
第 11 週	Thin Film Processing (CVD and PVD)
第 12 週	Thin Film Processing (CVD and PVD)
第 13 週	Etching Technology
第 14 週	Ion Implantation
第 15 週	Thermal Diffusion
第 16 週	期末考

教科書

Hong Xiao, Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology, Prentice Hall

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