半導體製程設備概論
Introduction to Semiconductor Equipment
學期
113-1
學分
3
學分
當期課號
556306
永久課號
ENSE30006
開課單位
工學院碩士在職專班-半導體組
授課教師
游欽宏
校區
光復
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週五 |
|---|---|
A 18:30–19:20 | 半導體製程設備概論 EE324 3 節連堂 |
B 19:30–20:20 | |
C 20:30–21:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
教導學生使其了解半導體製程設備產業發展,掌握主要製程設備之構成系統及膜組之功能需求、系統分析、設計實務等技術。
先修科目
物理學及電子學
教學方式
每週三節課,共18週; 1週期中考; 1週期末專提報告,由同學們口頭報告,分享心得,相關專題報告心得由同學獨立就工作心得、相關圖書、期刊、專利及網站進行搜尋分析彙整或製作而成。
評分方式
平時表現及作業 40%、期中考25%、期末報告35%
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | 半導體製造、設備產業及技術總論,暨Silicon Run 影片 |
| 第 2 週 | 半導體元件及CMOS 元件介紹暨Silicon Run 影片 |
| 第 3 週 | 半導體製程設備產業發展暨系統工程 |
| 第 4 週 | 物理氣相沉積設備 |
| 第 5 週 | 化學氣相沈積設備及Deposition 影片 |
| 第 6 週 | 真空系統及元件 |
| 第 7 週 | 電漿技術及裝置 |
| 第 8 週 | 高潔淨技術及裝置 |
| 第 9 週 | 氣體傳送系統及元件 |
| 第 10 週 | 晶圓輸送系統及模組 |
| 第 11 週 | 設備自動控制技術 |
| 第 12 週 | 期中考 |
| 第 13 週 | 微影設備及Silicon Lithography影片 |
| 第 14 週 | 步進機及精密機械 |
| 第 15 週 | 蝕刻設備 |
| 第 16 週 | 化學機械研磨設備 |
| 第 17 週 | 半導體廠製造自動化系統 |
| 第 18 週 | 期末專題報告 |
教科書
教科書: 1. Semiconductor Manufacturing Technology, M. Quirk and J. Serda, Prentice Hall, 2001. (有譯本,羅文雄等譯,滄海書局) 2. 半導體製程技術導論,蕭宏編著,第四版,全華書局,2024. 3. 半導體製造裝置,前田和夫著,鄭正忠譯,普林斯頓圖書,2003 4. 上課講義及指定文獻 參考書籍 1. VLSI製造技術,莊達人編著,第二版,2002。 2. Microchip Fabrication,Peter Van Zant,4th ed.,McGraw Hill,2000 (有譯本,姜庭隆譯,滄海書局,2001) 3. Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology, Hong Xiao, 2nd ed, SPIE Press, 2012. 4. 半導體製程設備,張勁燕著,五南書局,2000 5. 微機電系統技術與應用,國科會精儀中心彙編,2003 6. 真空技術與應用,國科會精儀中心彙編,2001
Office Hours
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