生醫微機電系統工程與實作
BioMEMS Engineering and Experiment
| 節 | 週一 |
|---|---|
5 13:20–14:10 | 生醫微機電系統工程與實作 BI309 3 節連堂 |
6 14:20–15:10 | |
7 15:30–16:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
微機電系統技術是涵蓋微型機械工程技術與微電子技術的整合系統。通過設計與微製造技術,微機電系統能與外界進行能量的轉換,又稱為換能器或傳感器(Transducer)。傳感器的基本元件包含微感測器與微致動器,已運用於許多生物醫學領域中,例如:微型手術輔具、植入式生理監測系統、智慧農業、腦機介面、器官晶片、微型機器人等。此類應用於生物醫學領域微機電技術,即為生醫微機電系統。 本課程旨在介紹生醫微機電系統,包含課堂授課與無塵室實作。 *本課程須進入無塵室進行實驗,地點在博愛校區奈米中心。 *進無塵室之前須自行完成環安課程: 1. 一般安全衛生教育訓練 2. 危害通識教育訓練 課程內容主要包含: 1. 生醫微機電製程技術 2. 生醫微傳感器設計理論與應用 3. 微機電系統製程實作 課程目標: 1. 瞭解微機電系統的基本概念和原理 2. 掌握微機電系統的微製程技術 3. 理解微機電系統的應用範疇 4. 學習開發生醫微機電系統的能力 5. 探索微機電系統在生物醫學領域中的最新研究進展 核心能力訓練 1. 培養創新思考、自我學習與表達能力。 2. 培養良好的產業觀與國際觀。 3. 培養協調跨領域人才與技術整合之能力。
*本課程須進入無塵室進行實驗,地點在博愛校區奈米中心。 *進無塵室之前須自行完成環安課程。
本課程須進入無塵室進行實驗,地點在博愛校區奈米中心。 學生進入無塵室需配合無塵室與實驗操作規範。 學生進入無塵室之前須完成環安課程。 老師課堂講授與實驗示範,並由學生分組進行實驗操作與實驗結果討論。 無塵室實作之前須完成實驗預報的繳交,實驗完成後隔周繳交實驗結報。
出席10%、作業20%、期中考20%、實驗報告30%、期末報告20%
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | 課程介紹 – 生醫微機電系統 |
| 第 2 週 | 微小化工程 – 微型尺度效應 |
| 第 3 週 | 生醫微型傳感器 |
| 第 4 週 | 半導體製程技術 |
| 第 5 週 | 微機電製程技術 |
| 第 6 週 | 期中考 |
| 第 7 週 | 光罩繪圖軟體教學 |
| 第 8 週 | 實作課程說明 – 分組 |
| 第 9 週 | 無塵室實作 – 光學微影製程 I |
| 第 10 週 | 無塵室實作 – 光學微影製程 II |
| 第 11 週 | 無塵室實作 – 矽基濕式蝕刻 |
| 第 12 週 | 無塵室實作 – 生醫傳感器元件量測 |
| 第 13 週 | 無塵室實作 – 生醫傳感器元件量測 |
| 第 14 週 | 參訪 – 台灣半導體研究中心 |
| 第 15 週 | 期末報告 |
| 第 16 週 | 期末報告 |
以老師課程講義為主。
- 地點
- 博愛校區賢齊館6樓615辦公室
- 時間
- 可隨時寄信與老師安排討論。
- 聯絡方式
- Email: mslee@nycu.edu.tw