半導體製造技術導論
Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology
| 節 | 週三 |
|---|---|
A 18:30–19:20 | 半導體製造技術導論 EF207 3 節連堂 |
B 19:30–20:20 | |
C 20:30–21:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
In this course, we will cover: Crystal Growth, Wafer Fabrication, and Properties of Silicon Wafers; Clean Rooms and Lithography; Oxidation, Diffusion, and Ion Implantation; Deposition and Etching; Front-End and Back-End Processes; Modern CMOS Technology; Silicon IC Fabrication; The physical bases and practical methods of silicon VLSI chip fabrication; The impact of technology on devices;
General physics, General chemistry Engineering mathematics Basic engineering knowledge Basic material sciences knowledge
方法: 中文授課,中(英)語教材。 Instructor: 林御專 TA: 沈姿薰 Class Room/Class Hour: 工六館EF207/Wed 6:30-9:30PM
Grading Basis: Home work: 30% Mid-term Examination: 30% Final examination: 40% Other performance: +5%
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | |
| 第 2 週 | |
| 第 3 週 | |
| 第 4 週 | |
| 第 5 週 | |
| 第 6 週 | |
| 第 7 週 | |
| 第 8 週 | |
| 第 9 週 | |
| 第 10 週 | |
| 第 11 週 | |
| 第 12 週 | |
| 第 13 週 | |
| 第 14 週 | |
| 第 15 週 | |
| 第 16 週 |
主要: 1. 半導體製程技術導論(第4版); 作者: 蕭宏 (Hong Xiao); 出版社: 全華圖書 (https://www.books.com.tw/products/0010986941?srsltid=AfmBOopAaOcZsVaz442N2vtDCFzTmc7jHPwJ-f5uYZzx3mny__FbgiPW) 2. Silicon VLSI Technology - Fundamentals, Practice and Modeling; Plummer, Deal and Griffin; Prentice Hall 參考閱讀: 3. 半導體製程設備技術 (第3版); 作者: 楊子明/ 鍾昌貴/ 沈志彥/ 李美儀/ 吳鴻佑/ 詹家瑋 ; 出版社: 五南圖書出版股份有限公司; 出版日期: 2024/05/25 4. 看圖讀懂半導體製造裝置; 作者: 菊地正典; 出版社: 世茂; 出版日期:2022/08/03 (https://www.books.com.tw/products/0010930929?srsltid=AfmBOorBr7lzpuibeJCuZGgC2xhH4_e1eaPeY7atvcr4Bpsv9jP6yAUt)
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