生醫微機電系統工程與實作
BioMEMS Engineering and Experiment
| 節 | 週一 |
|---|---|
5 13:20–14:10 | 生醫微機電系統工程與實作 BI309 3 節連堂 |
6 14:20–15:10 | |
7 15:30–16:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
微機電系統技術是涵蓋微型機械工程技術與微電子技術的整合系統。通過設計與微製造技術，微機電系統能與外界進行能量的轉換，又稱為換能器或傳感器(Transducer)。傳感器的基本元件包含微感測器與微致動器，已運用於許多生物醫學領域中，例如：微型手術輔具、植入式生理監測系統、智慧農業、腦機介面、器官晶片、微型機器人等。此類應用於生物醫學領域微機電技術，即為生醫微機電系統。 本課程旨在介紹生醫微機電系統，包含課堂授課與無塵室實作。 ＊本課程須進入無塵室進行實驗，地點在博愛校區奈米中心。 ＊進無塵室之前須自行完成環安課程: 1. 一般安全衛生教育訓練 2. 危害通識教育訓練 課程內容主要包含： 1. 生醫微機電製程技術 2. 生醫微傳感器設計理論與應用 3. 微機電系統製程實作 課程目標： 1. 瞭解微機電系統的基本概念和原理 2. 掌握微機電系統的微製程技術 3. 理解微機電系統的應用範疇 4. 學習開發生醫微機電系統的能力 5. 探索微機電系統在生物醫學領域中的最新研究進展 核心能力訓練 1. 培養創新思考、自我學習與表達能力。 2. 培養良好的產業觀與國際觀。 3. 培養協調跨領域人才與技術整合之能力。
＊本課程須進入無塵室進行實驗，地點在博愛校區奈米中心。 ＊進無塵室之前須自行完成環安課程。
本課程須進入無塵室進行實驗，地點在博愛校區奈米中心。 學生進入無塵室需配合無塵室與實驗操作規範。 學生進入無塵室之前須完成環安課程。 老師課堂講授與實驗示範，並由學生分組進行實驗操作與實驗結果討論。 無塵室實作之前須完成實驗預報的繳交，實驗完成後隔周繳交實驗結報。
出席10%、作業20%、期中考20%、實驗報告20%、期末報告30%
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | 課程介紹 – 生醫微機電系統 |
| 第 2 週 | 微小化工程 – 微型尺度效應 |
| 第 3 週 | 微機電製程技術 |
| 第 4 週 | 生醫微型傳感器 I |
| 第 5 週 | 生醫微型傳感器 II |
| 第 6 週 | 光罩繪圖軟體教學 |
| 第 7 週 | 國定假日 |
| 第 8 週 | 期中考 |
| 第 9 週 | 實作課程說明 – 分組 |
| 第 10 週 | 無塵室實作 – 光學微影製程 I |
| 第 11 週 | 無塵室實作 – 光學微影製程 II |
| 第 12 週 | 無塵室實作 – 矽基濕式蝕刻 |
| 第 13 週 | 無塵室實作 – 生醫傳感器元件量測 |
| 第 14 週 | 參訪 – 台灣半導體研究中心 |
| 第 15 週 | 期末報告 |
| 第 16 週 | 期末報告 |
以老師課程講義為主。
- 地點
- 博愛校區賢齊館6樓615辦公室
- 時間
- 可隨時寄信與老師安排討論。
- 聯絡方式
- Email: mslee@nycu.edu.tw