半導體工程
Semiconductor Engineering
學期
114-2
學分
3
學分
當期課號
515150
永久課號
EEEC20108
開課單位
電機工程學系
授課教師
荊鳳德
校區
光復
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週五 |
|---|---|
5 13:20–14:10 | 半導體工程 ED303 3 節連堂 |
6 14:20–15:10 | |
7 15:30–16:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
電子工程學系希望培育學生具備十項核心能力及三項基本素養(請參官網http://www.ee.nctu.edu.tw首頁之【學術研究】→【IEET】內容。 ※本課程將培育學生具備下述幾項核心能力： 1.1 數學、物理知識為主，化學、生物知識為輔 1.2 電子、資訊領域相關專業知識與能力 1.3 電子、資訊領域之實作技術，並具有發掘、分析、解決問題及創新的能力 1.4 科技寫作與簡報能力及培養持續學習的習慣與能力 2.2 理解及實踐專業倫理與社會責任之能力 2.3 溝通、表達與團隊合作之能力 3.1 瞭解國內外電子資訊產業脈動 3.3 瞭解多元文化、時事議題與工程技術對環境、社會及全球之影響 ※本課程將培育學生具備下述幾項基本素養： 1 養成學生具備電子工程基礎與專業知識，並配合實作，達到理論與實務相結合之目的。使學生具備推論、分析、創新及整合能力。 2 教育學生具備寬廣之知識、溝通技巧與團隊精神，以迎接不同生涯發展之挑戰。教育學生瞭解專業倫理及社會責任。 3 建立國際化學習環境，使學生洞察國內外社會與產業之脈動，以培養學生成為立足於全球之電子菁英與領袖人才。
先修科目
undergraduate 1st year physics
教學方式
lectures
評分方式
midterm exam 45% Final Exam 45% attendance rate 10%
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | Introduction to Semiconductor Technology |
| 第 2 週 | Introduction to Semiconductor Technology |
| 第 3 週 | MOSFET (Device Engineering to Metal-Gate/High-κ/Strained-Si Ultra-Shallow Junction, Structure Engineering to FinFET & NSFET, IC Level Issues) |
| 第 4 週 | MOSFET (Device Engineering to Metal-Gate/High-κ/Strained-Si Ultra-Shallow Junction, Structure Engineering to FinFET & NSFET, IC Level Issues) |
| 第 5 週 | IC Fabrication (Yield, Process Tools, 3D S-IC, New AI Engine) |
| 第 6 週 | IC Fabrication (Yield, Process Tools, 3D S-IC, New AI Engine) |
| 第 7 週 | Lithography Patterning (UV, EUV & Nano Imprint 1/3 Cost) |
| 第 8 週 | Midterm exam |
| 第 9 週 | Lithography Patterning (UV, EUV & Nano Imprint 1/3 Cost) |
| 第 10 週 | Gate Technology (poly-Si/SiO2 & Metal-Gate/High-κ Gate Stack) |
| 第 11 週 | Gate Technology (poly-Si/SiO2 & Metal-Gate/High-κ Gate Stack) |
| 第 12 週 | Source-Drain Technology (Doping, Contact & Salicides, Ultra-Shallow Junction) |
| 第 13 週 | Source-Drain Technology (Doping, Contact & Salicides, Ultra-Shallow Junction) |
| 第 14 週 | Channel Technology (Strained-Si, InGaAs, Ge, Nanosheet) |
| 第 15 週 | Channel Technology (Strained-Si, InGaAs, Ge, Nanosheet) |
| 第 16 週 | Final Exam |
教科書
e3 class notes Reference: Hong Xiao, Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology, Prentice Hall
Office Hours
- 地點
- ED645
- 時間
- 1 hour before class
- 聯絡方式
- achin@nycu.edu.tw