半導體實驗
Semiconductor Lab.
學期
114-2
學分
3
學分
當期課號
515204
永久課號
EEDM10031
開課單位
半導體工程學系
授課教師
李宗恩
校區
光復
類別
必修
上課時間表
| 節 | 週一 |
|---|---|
5 13:20–14:10 | 半導體實驗 EE130 4 節連堂 |
6 14:20–15:10 | |
7 15:30–16:20 | |
8 16:30–17:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
本課程結合理論講授與台灣半導體研究中心實驗實作，提供學生完整且系統化之半導體元件製作與量測訓練，親自參與薄膜電晶體與電容之全流程製程整合，深化對元件物理與製程機制之理解。課程內容涵蓋清洗、氧化、薄膜沉積、微影、蝕刻、摻雜、退火與電性量測等關鍵核心技術，透過實作操作與數據分析，培養學生將製程條件與元件電性連結之能力，建立面向先進製程與新興元件之實務基礎。並安排參訪台積電新人訓練中心，強化與產業接軌之視野與實務認知，完成課程者將取得修業證書，提升未來升學與就業競爭力。
先修科目
半導體元件物理
評分方式
實驗課和參訪出席 50% (一次未出席-25%) 期中考 25% 期末報告 25%
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | (Classroom, 2hrs) Introduction to TSRI and NFC clean room; Safety issues |
| 第 2 週 | (shift) |
| 第 3 週 | (Classroom, 2hrs) Clean; Oxidation; Deposition |
| 第 4 週 | (Classroom, 2hrs) Lithography; Etching; Diffusion |
| 第 5 週 | (Classroom, 2hrs) Introduction to hands-on characterization of IGZO transistors and capacitors |
| 第 6 週 | (Classroom, 2hrs) Midterm Written Exam |
| 第 7 週 | 國定假日 |
| 第 8 週 | (4/11 Sat., TSMC NTC, 8hrs) ETC 機台基礎-Group A (1/2) |
| 第 9 週 | (4/18 Sat., TSMC NTC, 8hrs) ETC 機台基礎-Group A (2/2) |
| 第 10 週 | (4/25 Sat., TSMC NTC, 8hrs) ETC 機台基礎-Group B (1/2) |
| 第 11 週 | (5/2 Sat., TSMC NTC, 8hrs) ETC 機台基礎-Group B (2/2) (5/4 Mon., TSRI classroom, 3hrs) Introduction to hands-on fabrication of IGZO transistors and capacitors |
| 第 12 週 | (TSRI cleanroom, 3hrs) Hands-on fabrication of IGZO transistors and capacitors (Wet bench; ALD; Lithography; E-beam evaporator)-Group 1 |
| 第 13 週 | (TSRI cleanroom, 3hrs) Hands-on fabrication of IGZO transistors and capacitors (Wet bench; ALD; Lithography; E-beam evaporator)-Group 2 |
| 第 14 週 | (TSRI cleanroom, 3hrs) Hands-on fabrication of IGZO transistors and capacitors (Wet bench; ALD; Lithography; E-beam evaporator)-Group 3 |
| 第 15 週 | (MEE Lab, 2hrs) Electrical characterization of IGZO transistors and capacitors |
| 第 16 週 | (Classroom, 10mins) Final Report |
教科書
Handouts, Reference list: Hong Xiao, “Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology”, 2000, Prentice Hall. J. D. Plummer, M. D. Deal, and P. B. Griffin, “Silicon VLSI Technology-Fundamentals, Practice and Modeling”, 2000, Prentice Hall. S. M. Sze, “Semiconductor Devices Physics and Technology”, 2nd Ed., 2002, J. Wiley ＆Sons Inc.