半導體製程技術
Semiconductor Processing Technology
學期
114-2
學分
3
學分
當期課號
515216
永久課號
EEDM20016
開課單位
半導體工程學系
授課教師
顧鴻壽
校區
光復
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週三 |
|---|---|
2 09:00–09:50 | 半導體製程技術 ED101 3 節連堂 |
3 10:10–11:00 | |
4 11:10–12:00 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
先修科目
物理、化學等基礎科學
教學方式
上課講義及其相關性的教材將會提供。
評分方式
期中考試(30%)，期末考試(30%)，學期作業(40%)。
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | Introduction : Material Physical and Electronic Properties 材料物理與電性質介紹 |
| 第 2 週 | Introduction : Material Physical and Electronic Properties 材料物理與電性質介紹 |
| 第 3 週 | Crystal Growth: Melt Growth, LPE, VPE, MBE…..etc. 長晶技術 |
| 第 4 週 | Crystal Growth: Melt Growth, LPE, VPE, MBE…..etc. 長晶技術 |
| 第 5 週 | Wafer Fabrication and Cleaning 晶片製造與清洗 |
| 第 6 週 | Wafer Fabrication and Cleaning 晶片製造與清洗 |
| 第 7 週 | 微影(Lithography)技術 |
| 第 8 週 | 期中考 |
| 第 9 週 | 氧化與擴散技術 |
| 第 10 週 | Epitaxial Growth Technology : 薄膜技術之化學原理及化學品或氣體（含CVD及Oxidation） |
| 第 11 週 | Epitaxial Growth Technology : 薄膜技術之化學原理及化學品或氣體（含CVD及Oxidation） |
| 第 12 週 | Submicron Etching Technology: 蝕刻技術之化學原理及化學品或氣體（含乾式及濕式蝕刻技術） |
| 第 13 週 | Submicron Etching Technology: 蝕刻技術之化學原理及化學品或氣體（含乾式及濕式蝕刻技術） |
| 第 14 週 | Metallization and Interconnection Technologies金屬鍍膜技術 |
| 第 15 週 | Semiconductor Equipments and Vacuum Technologies半導體設備與真空技術介紹 |
| 第 16 週 | 期末考 * 教學進度會依實際情況作調整 |
教科書
（1）主要讀本：顧鴻壽教授自編講義 (Class Notes). （2）參考書目： 1. 顧鴻壽, 半導體積體電路技術入門, 全華圖書, 2025. 2. Sze, “VLSI Technology”. 3. Hong Xiao, “Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology”.
Office Hours
- 地點
- MIRC building, Room 301
- 時間
- Please contact the professor to arrange the meeting together.
- 聯絡方式
- 請事先 e-mail (frankykoo@nycu.edu.tw) 預約會談時段。