材料工程實驗(二)
Advanced Materials Labs.(II)
學期
114-2
學分
2
學分
當期課號
516306
永久課號
ENMS10023
開課單位
材料科學與工程學系
授課教師
吳文偉
類別
必修
概述
(1)培育學生材料相關實驗技術（真空系統、元件原理與製程等）。 (2)訓練學生半導體元件之製備基本技術，使有實際之操作與元件測試經驗，以為未來之研究所需。
先修科目
材料科學導論、電子材料或電子元件物理相關之學理知識
教學方式
實驗助教：洪子欽、程佳得、胡維綸、蔡震東 (工六館 EF607室，分機：55346) 參考書籍："真空技術與應用"，行政院國科會，精密儀器發展中心，民國90年；"真空技術"，蘇青森，東華書局，民國88年；HomePfeiffier-Vacuum OnlineKatalog.；A.A.R. Elshabini-Riad and F.D. Barrlow III, "Thin Film Technology Handbook", McGraW-Hill International, (1997)；"Vacuum Physics and Technology", ed. by G.L. Weissler and R.W. Carlson, Academic Press, (1979)；A. Roth, Vacuum Technology, North-Holland, (1976)；"The Temperature Handbook", Omega International Co.
評分方式
期中實驗報告（40%）、期末實驗報告（40%）及所完成之元件是否具備應有之電氣性質之操作考核（20%）為評分基礎，並以實驗平時考核（助教及任課老師依學生之平時表現對原始總分進行正負5分之調整）評定學期總分。
課程大綱
- 半導體元件原理與製程方法
- 半導體元件(p-n二極體）製作
- 真空系統原理、組成與應用
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | Course Introduction |
| 第 2 週 | Experiment Introduction |
| 第 3 週 | Lab I Exposure & Lithography |
| 第 4 週 | Metal Deposition (Al, Cr, Ti) |
| 第 5 週 | Lift-off & Annealing |
| 第 6 週 | Electrical Measurement |
| 第 7 週 | Spring break |
| 第 8 週 | Report Writing |
| 第 9 週 | Lab II Exposure & Lithography |
| 第 10 週 | Break |
| 第 11 週 | Diffusion |
| 第 12 週 | Exposure & Lithography-2 & Metal Deposition |
| 第 13 週 | Exposure & Lithography-3 & Metal Deposition |
| 第 14 週 | Metal Deposition (Al, Cr, Ti) |
| 第 15 週 | Lift-off & Electrical Measurement |
| 第 16 週 | Test |
教科書
（自編講義）
Office Hours
- 地點
- 工程六館 329室
- 時間
- 星期三下午1:30~3:30 星期五早上10:00~12:00
- 聯絡方式
- 分機 55395