半導體製程
Semiconductor Processing
學期
114-2
學分
3
學分
當期課號
520015
永久課號
XDEP20006
開課單位
學士後電子與光子學士學位學程
授課教師
杜岳錡、謝承利
校區
光復
類別
必修
上課時間表
| 節 | 週一 |
|---|---|
1 08:00–08:50 | 半導體製程 SC109 3 節連堂 |
2 09:00–09:50 | |
3 10:10–11:00 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
評分方式
期中考 40% 期末考 60%
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | Introduction & Semiconductor Materials |
| 第 2 週 | Device Technology |
| 第 3 週 | Wafer preparation |
| 第 4 週 | Chemicals & Contamination |
| 第 5 週 | Gas controls |
| 第 6 週 | Planar FET Process flow |
| 第 7 週 | Oxidation (Thermal Process) |
| 第 8 週 | 期中考 |
| 第 9 週 | Dielectric Deposition |
| 第 10 週 | Metallization |
| 第 11 週 | Photolithography |
| 第 12 週 | Photolithography |
| 第 13 週 | Etch |
| 第 14 週 | Ion Implantation |
| 第 15 週 | CMP |
| 第 16 週 | 期末考 |
教科書
Semiconductor Manufacturing Technology, by M. Quirk and J. Serda, Prentice Hall Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology, by H. X