半導體材料分析
Materials Characterization for Semiconductors
學期
114-2
學分
3
學分
當期課號
556305
永久課號
ENSE30002
開課單位
工學院碩士在職專班-半導體組
授課教師
鍾采甫
校區
光復
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週五 |
|---|---|
A 18:30–19:20 | 半導體材料分析 EF205 3 節連堂 |
B 19:30–20:20 | |
C 20:30–21:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
普通物理或普通化學 材料科學導論 電子材料或半導體製程
先修科目
普通物理或普通化學 材料科學導論 電子材料或半導體製程
評分方式
1. 期中考試(20%). 3. 期末報告(40)%. 4.出缺席(40%).
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | 228補假 (補課) |
| 第 2 週 | 課程介紹以及小組分組討論 |
| 第 3 週 | 掃描式電子顯微鏡SEM(1)-儀器介紹 |
| 第 4 週 | 開會 (補課) |
| 第 5 週 | 掃描式電子顯微鏡SEM(1)-原理&構造 |
| 第 6 週 | 掃墓節連假 (補課) |
| 第 7 週 | 掃描式電子顯微鏡SEM(2)-構造&試片製備 |
| 第 8 週 | 掃描式電子顯微鏡SEM(3)-構造&試片製備 |
| 第 9 週 | 掃描式電子顯微鏡SEM-應用 |
| 第 10 週 | 勞動節 (補課) |
| 第 11 週 | 穿透式電子顯微鏡TEM(1)-原理、構造、試片製備 |
| 第 12 週 | 期中報告討論 |
| 第 13 週 | 穿透式電子顯微鏡TEM(2)-原理、構造、試片製備 |
| 第 14 週 | 穿透式電子顯微鏡TEM(3)-原理、構造、試片製備 |
| 第 15 週 | 穿透式電子顯微鏡TEM(5)-應用 |
| 第 16 週 | SEM與TEM應用(1):晶體與X光繞射繞射圖形特徵晶體 |
| 第 17 週 | 端午節放假 |
| 第 18 週 | SEM與TEM應用(2):EDS、WDS、EELS訊號產生與偵測、能譜特徵與訊息 |
| 第 19 週 | SEM操作教學(實際補課時間6/15) |
| 第 20 週 | SEM操作教學(實際補課時間6/16) |
| 第 21 週 | 期末報告討論(1)(實際補課時間6/26) |
| 第 22 週 | 期末報告討論(2)(實際補課時間6/30) |
教科書
了解各種半導體材料分析技術之原理及其應用，包括電子顯微鏡、聚焦離子束法、微區化學組成分析、掃描探針顯微鏡、歐傑電子能譜分析、X光電子能譜分析、二次離子質譜分析等。