電漿與薄膜製程技術
Plasma and Thin Film Technology
學期
115-1
學分
3
學分
當期課號
556305
永久課號
ENSE30012
開課單位
工學院碩士在職專班-半導體組
授課教師
立、張、陳軍華
校區
光復
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週四 |
|---|---|
A 18:30–19:20 | 電漿與薄膜製程技術 EF207 3 節連堂 |
B 19:30–20:20 | |
C 20:30–21:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | |
| 第 2 週 | |
| 第 3 週 | |
| 第 4 週 | |
| 第 5 週 | |
| 第 6 週 | |
| 第 7 週 | |
| 第 8 週 | |
| 第 9 週 | |
| 第 10 週 | |
| 第 11 週 | |
| 第 12 週 | |
| 第 13 週 | |
| 第 14 週 | |
| 第 15 週 | |
| 第 16 週 |